icp-ms仪器所使用的等离子体除了方位和线圈接地方式外，与发射光谱中使用的基本相同。所使用的分析器、离子检测器和数据采集系统又与四极杆gc-ms仪器相类似。分析器多采用四极杆质谱计，吉天电感耦合等离子体质谱仪供货商，也有采用具有高分辨的双---扇形磁场质谱计、飞行时间质谱计等。该技术的特点：灵敏度高；速度快，吉天电感耦合等离子体质谱仪经销商，可在几分钟内完成几十个元素的定量测定；谱线简单，干扰相对于光谱技术要少；线性范围可达7～9个数量级；样品的制备和引入相对于其他质谱技术简单；既可用于元素分析，吉天电感耦合等离子体质谱仪供货商，还可进行同位素组成的快速测定；测定精密度(rsd)可到0.1%。
icp-ms全称电感耦合等离子体质谱（inductively coupled plasma mass spectrometry），吉天电感耦合等离子体质谱仪，可分析几乎地球上所有元素（li-u）。
icp-ms技术是80年代发展起来的新的分析测试技术。它以将icp的高温（8000k）电离特性与四极杆质谱计的灵敏快速扫描的优点相结合而形成一种新型的强有力的元素分析、同位素分析和形态分析技术。
该技术提供了极低的检出限、极宽的动态线性范围、谱线简单、干扰少、分析精密度高、分析速度快以及可提供同位素信息等分析特性。
自1984年台商品仪器问世以来，这项技术已从在地质科学研究的应用迅速发展到广泛应用于环境保护、半导体、生物、医学、冶金、石油、核材料分析等领域。被称为当代分析技术激动人心的发展。
由于在速度、灵敏度、动态范围和元素测量范围中的优势而处于的---。能够快速测量高浓度的元素(ppb到ppm级)的特点使其成为aes的可行的替代方法。同时icp-ms在许多痕量和超痕量元素测定中---了石墨炉原子吸收光谱法(gfaas)的检出能力(ppt级)。 icp-ms能测量几乎所有的样品，并且实现了一次采集完成多元素同时测定，同时提供同位素的信息。形态分析是icp-ms发展快的领域之一，即色谱技术与icp-ms的联用。其中icp-ms作为检测器测定样品中元素的化学价态。这些性能有助于实现icp-ms在所有领域的广泛应用，而且确立了icp-ms在痕量金属检测技术中的重要---。
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